宇田 亮子 | 奈良工業高等専門学校　物質化学工学科

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概要

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論文 | ランダム

• バルク結晶成長(第13回結晶成長国際会議(ICCG-13/ICVGE-11))
• 円環法によるシリコン融液の表面張力測定と表面張力温度依存性を考慮した坩堝内融液流れ
• シリコン単結晶の酸素濃度均一性と融液の蒸発
• シリコン単結晶中の酸素濃度制御技術の開発
• CZ-Si結晶中酸素濃度均一性と融液自由表面からのSiO蒸発(バルク成長分科会特集 : 結晶成長時における気液界面の物質移動と結晶に与える影響)

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