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張 軍 | リコー
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概要
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張 軍
(株)リコー生産技術研究所
張 軍
リコー
榎本 俊之
東大生研
榎本 俊之
大阪大学大学院工学研究科
遠藤 弘之
(株)リコー生産技術研究所
遠藤 弘之
リコー
著作論文
凝集砥粒を用いた研磨フイルムによる光学ガラス仕上げ加工 : 砥粒密度および加工圧力の影響
凝集砥粒を用いた研磨フィルムによる光学ガラスの仕上げ加工
凝集砥粒を用いた研磨フィルムのCMPへの適用
凝集砥粒を用いた研磨フィルムによる光学ガラスの仕上げ加工:加工進行にともなう加工特性の変化
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