中崎 靖 | 東芝ULSI研究所

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概要

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• 東芝ULSI研究所の論文著者

東芝ULSI研究所 | 論文

• 5a-Q-1 アモルファスSiO_2上における単結晶金属細線の形成
• 29p-WC-1 SiO_2上におけるAlの単結晶化の動的観察
• 単結晶アルミニウム配線技術 (ULSI先端技術)
• Al薄膜リフロー過程の電顕内その場観察
• ストレスリーク電流における非弾性トンネリングの実験的検証

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