平野 均 | 東芝セラミックス(株)シリコン事業部
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概要
東芝セラミックス(株)シリコン事業部 | 論文
- 窒素ドープシリコン結晶中の Grow-in 欠陥形態への窒素の影響
- 23pYP-9 窒素ドープシリコン結晶中のGrown-in欠陥形態
- 窒素ドープシリコン中のGrown-in欠陥形態
- 結晶成長における熱流動解析の必要性と現状(CZ結晶成長におけるマランゴニの影響)
- GeとBを同時添加されたSi種結晶とCZ-Si育成結晶との界面における格子ミスフィットの定量化 : バルク結晶成長III