奥和田 久美 | 論文著者

(株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

(株)東芝総合研究所

(独) 科学技術振興機構 社会技術研究開発センター

文科省・科学技術政策研

文科省科学技術政策研究所

文部科学省科学技術政策研究所

科学技術振興機構・社会技術研究開発センター

科学技術政策研究所

青山学院大学理工学部電気電子工学科