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社団法人精密工学会 | 論文
- 板ガラスのレーザブレーキングに関する研究(第1報) : スクライビングによるクラックの発生・成長機構
- 単結晶シリコン超精密切削面の微視的構造
- 温度計の起源
- 原器の生いたち
- マイクロロボット : 人工昆虫(マイクロ構造デバイスの現状)
- 光造形法を応用したセラミック微小構造体の製法(第1報) : 製法の提案と光造形実験
- 燃料電池における技術開発戦略について(明日の扉を開く技術戦略)
- 原子間力顕微鏡を用いたけい酸エステルとオゾンの科学気相堆積プロセスの分析
- 投影露光装置用 TTL アライメント法 : 2光束入射を用いて色収差を解決した TTL アライメント
- エキシマレーザ露光装置用TTLアライメント法 : 倍率色収差を補正したリアルタイムアライメントSMART
- TTLアライメントを用いたエキシマレーザ露光装置
- エキシマレーザ露光装置用TTLアライメント法におけるアライメント光学系の誤差要因検討と高精度化
- エキシマレーザ露光装置における高精度位置合わせ方法 : 露光光学系誤差の補正
- 組合せHough変換による円形アナログメーターの指針検出
- モータビルトイン式エアスピンドルのバランシングについて
- 表面粗さSTM
- メタルジェットによる三次元構造体の造形(第2報) : メタルドットの結合力の測定
- メタルジェットによる三次元構造体の造形(第3報) : 電子配線への応用
- 複合ミスト供給法による旋削加工の研究 : 冷却性と潤滑性
- 窒素ガスを用いた切削加工に関する研究 : 凝着問題の改善と工具寿命に関する検討