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法政大学イオンビ-ム工学研究所 | 論文
- スパッタTaN膜のCu拡散バリア効果
- LSI銅配線層に用いる低抵抗電界メッキ銅膜--銅シード層の凝集がメッキ膜の膜質と密着力に及ぼす影響
- ケイフッ化銅メッキ液を用いた低抵抗電界メッキ銅膜の堆積
- Feイオン注入により作成したナノサイズ微結晶とそのGMR特性
- 鉄イオン注入による微粒子形成とGMR特性
- 中性子照射GaP中の欠陥構造に関係したLOフォノンの低波数側へのシフト
- GaN中の黄色帯発光の電子線照射効果
- 水素プラズマビ-ムと模擬器壁間の絶縁破壊2
- 核医学における放射性同位元素を用いたイメ-ジング技術
- Siへの高エネルギ-Cイオン注入による埋め込みSiC層の形成