ポスターセッション若手奨励賞受賞論文(研究論文) Crシリサイドを結晶シードとしたGeイオン注入a-Si膜の横方向グレイン成長

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概要

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• 日本材料科学会の論文

著者

• 桑野 博

  慶応大 大学院理工学研究科

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