第一原理計算を用いたSi-rich SiO₂への水素・窒素原子の混入による影響の原子論的考察 (シリコン材料・デバイス)

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概要

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• 2014-06-19

著者

• 白川 裕規

  筑波大学大学院数理物質科学研究科物理学専攻

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