アルゴンプラズマエッチングがシリコンへの金属微粒子無電解置換析出に及ぼす影響

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概要

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表面技術協会 | 論文

• WC系サーメット溶射皮膜の分極特性に及ぼすクロムの効果
• 表面状態の解析-32-表面増強赤外吸収分光法による固体表面分析
• 表面増強赤外吸収分光法による皮膚表面の計測 (バイオ表面をみる)
• STM, AFMを用いた電極表面反応の追跡
• ポリピロール/金の2層構造を有する3次元マイクロアクチュエーターの作製

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