多層コーティング法におけるBNスパッタリング特性について

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概要

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• プラズマ応用科学会の論文

著者

• 金子 亮太郎

  東京大学大学院工学系研究科航空宇宙工学専攻

• 張 科寅

  東京大学

• 細田 誠也

  東京大学

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