微小切削装置を用いた薄膜の剥離挙動観察と密着性評価 ([日本実験力学会]2011年度年次講演会)

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概要

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著者

• 高見 和宏

  (株)コベルコ科研 エレクトロニクス事業部

• 豊川 良平

  (株)コベルコ科研 エレクトロニクス事業部

• 加藤 隆明

  (株)コベルコ科研 エレクトロニクス事業部

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