リアルタイム3DアナリティカルFIB-SEMを用いた三次元解析 (FIB法の最前線)

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概要

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• 日本顕微鏡学会分析電子顕微鏡分科会の論文
• 2011-09-06

著者

• 満 欣

  エスアイアイ・ナノテクノロジー(株)bt技術部

• 上本 敦

  エスアイアイ・ナノテクノロジー(株)BT技術部

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