魅力ある学校の取組 心を磨く「自問清掃」の取組

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概要

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論文 | ランダム

• 258 超音速プラズマジェットによるアルミ材の迅速窒化
• 電子サイクロトロン共鳴プラズマスパッタによるITO薄膜の大面積成膜法の研究
• イオンビーム支援真空蒸着法による硬質CN_x薄膜の合成
• 電子サイクロトロン共鳴加熱を用いたリニアプラズマ源による酸化物薄膜のスパッタリング成膜
• 永久磁石とスロットアンテナを用いたECRプラズマスパッタリング源

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