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COMAC ARJ21-700
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論文 | ランダム
インバータ電源による両極性パルスDC放電プラズマ特性
有機金属イオンビーム法によるシリコン基板上への3C-SiC薄膜の低温ヘテロエピタキシャル成長
ヘキサメチルジシランを用いたイオンビーム誘起CVD法
27pA26P インバータ電源による両極性パルスプラズマ生成とその応用(プラズマ基礎・応用)
有機ケイ素イオンビームを用いたSiCの低温結晶成長
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