準備運動に基礎技能を取り入れた中学校女子サッカーの授業

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概要

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論文 | ランダム

• 小径工具を用いた揺動研磨におけるスラリ流量の低減
• 修正研磨による大口径ウエハの高平坦化(第1報) : ウエハとポリシャ間の圧力分布と接触状態
• 揺動速度制御による石英ウエハの高平坦化研磨
• ブラスト加工によるポーラス材上へのピン形成
• 高さ調節可能なリテーナ機構を用いた新揺動研磨法

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