Dependence of recovery of Si surface damaged by GCIB irradiation on annealing temperature

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概要

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• 兵庫県立大学工学研究科イオン光学研究室の論文

兵庫県立大学工学研究科イオン光学研究室 | 論文

• 特集 ガスクラスターイオンビームを利用した微細加工 ガスクラスターイオンビーム(GCIB)を利用した高精度ナノ加工
• Surface roughness reduction using gas cluster ion beams for Si photonics
• クラスターイオンと固体表面との相互作用--表面衝突現象、照射効果
• ミストCVD法による酸化薄膜の成膜
• Planarization of bit-patterned surface using gas cluster ion beams

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