SiCパワーMOSFET用トレンチ形状制御技術 (特集 半導体)

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概要

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著者

• 俵 武志

  富士電機ホールディングス(株)

• 河田 泰之

  富士電機ホールディングス(株)

• 中村 俊一

  富士電機ホールディングス(株)

• 俵 武志

  東京大学

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