Cu/Cr/ポリイミド多層膜の界面密着強度低下に及ぼす大気中水分の影響 (MEMS 2006 第16回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集)

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概要

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• 2006-10-26

著者

• 小池 淳一

  東北大学

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