超音波デバイス ダイヤモンドSAWデバイスの耐電力向上--SiO2/ZnO/IDT/ZnO/Diamond構造の検討

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概要

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• 日本工業出版の論文

著者

• 藤井 知

  セイコーエプソン先端技術開発センター

• 河野 秀逸

  セイコーエプソン先端技術開発センター

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