触針式表面粗さ測定機による段差・深さ標準片の校正 (特集 段差計測)

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概要

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• 日本計量振興協会の論文
• 2007-05-20

著者

• 直井 一也

  産業技術総合研 計測標準研究部門

• 直井 一也

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門

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