直線型プラズマ装置TPD-2を用いた黒鉛ターゲットからの炭素不純物流入の分光計測

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概要

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• 名古屋工業大学セラミックス基盤工学研究センターの論文

名古屋工業大学セラミックス基盤工学研究センター | 論文

• 直線型プラズマ装置TPD-2を用いた黒鉛ターゲットからの炭素不純物流入の分光計測
• 太陽電池用高純度シリコンの新しい製造法(5)
• セラミックス材料の室温付近における熱膨張
• 鍾乳石を模倣した水溶液滴下法による結晶成長法
• 高周波磁界検出用磁気光学インディケーターの作製と評価

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