Diversification from ion beam for semiconductor integration (法政大学イオンビーム工学研究所創立25周年記念特集) -- (創立25周年記念講演録)
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概要
法政大学イオンビーム工学研究所 | 論文
- フラーレン・ナノウィスカーの結晶構造と分子ダイナミクス
- LSI配線層に用いるスパッタAI薄膜の比抵抗
- 磁気多層膜と放射線検出器
- 低ゲートリーク電流Siイオン注入GaN/AlGaN/GaN HEMTのオン抵抗低減化
- Nイオン注入4H-SiCの結晶性と電気特性の評価