実用化を展望したライセンス技術 大気圧マイクロプラズマジェットによる非晶質Si薄膜の短時間結晶化

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概要

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• 化学工業社の論文

著者

• 白井 肇

  埼玉大学大学院理工学研究科物質科学部門

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