技術資料 ZAO(Al添加ZnO)薄膜の特性

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

著者

• 内海 健太郎

  東ソー 東京研

関連論文

• 透明導電膜用ターゲットの最新動向
• 透明導電膜用ターゲットの今後の展望 (特集 FPDの省エネ・低コスト化技術)
• 技術資料 ZAO(Al添加ZnO)薄膜の特性
• In2O3-SnO2系透明導電膜における電気光学特性のSnO2量依存性
• 有機EL向け平坦ITO膜形成用ターゲットの開発
• 技術資料 FPD用スパッタリングターゲット
• 高性能ITOターゲット(3)
• The Development of High Performance ITO Target(Part2)
• 高性能ITOタ-ゲット
• CoCrTaPt薄膜磁気記録媒体の開発
• Sr1-xZnxSi:Ce,F薄膜EL素子の特性

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク