巻取方式マグネトロンプラズマ化学蒸着によるダイヤモンド状炭素膜の高速生成

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概要

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• アイオニクスの論文
• 2002-11-23

アイオニクス | 論文

• 粒子線誘起X線分析法(PIXE)及びラザフォード後方散乱法(RBS)による燃料電池電極触媒中のRuの分析
• 真空蒸着法を用いた有機薄膜太陽電池の作製
• レーザー結合ECRプラズマを用いた微量元素分析装置の開発
• レーザー結合ECRプラズマを用いた高輝度金属イオン源の開発
• 高エネルギーマイクロビームによる水素分析法の開発--地球科学への応用

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