スパッタリング法による3-5族窒化物系多層薄膜の形成とその応用

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概要

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• 東京電機大学総合研究所の論文

東京電機大学総合研究所 | 論文

• 関節軸トルク制御を用いたマニピュレータの運動・力・インピーダンス制御
• 低侵襲脊椎外科手術のための受動的ナビゲータロボットシステムの開発
• 気体におけるEHD現象を用いた回転型アクチュエータの開発
• EHD現象を応用した小型ポンプユニットの開発とリニアアクチュエータへの応用
• EHD現象を応用したコンプライアンス性を有する新しいアクチュエータの開発

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