陽極化成法により形成したTa_2O_5薄膜の電気特性(E)
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概要
著者
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遠藤 英治
日立エーアイシー(株)研究開発部
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本田 光利
(株)日立製作所 日立研究所
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清水 博文
Department of Electrical and Electronic Engineering, College of Engineering, Nihon University
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菅野 不二男
Department of Electrical and Electronic Engineering, College of Engineering, Nihon University
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西村 成興
Department of Capacitor Development, Research & Development Div., Hitachi AIC Inc.
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遠藤 英治
Department of Capacitor Development, Research & Development Div., Hitachi AIC Inc.
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本田 光利
Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd.
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遠藤 英治
Department Of Capacitor Development Research & Development Div. Hitachi Aic Inc.
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西村 成興
Department Of Capacitor Development Research & Development Div. Hitachi Aic Inc.
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本田 光利
Hitachi Research Laboratory Hitachi Ltd.