SOIダイオード型非冷却赤外線センサに用いるドライマイクロマシニングプロセス (特集 マイクロ・ナノテクノロジー適用例とその評価・解析技術)

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概要

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著者

• 秦 久敏

  三菱電機株式会社 先端技術総合研究所

• 秦 久敏

  三菱電機 先端技総研

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