超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発--セラミックを摩擦材に用いての超高真空中駆動の実現 (特集 超音波モータ)

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概要

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• 日本工業出版の論文

著者

• 遠藤 康博

  東京大学大学院:(現)三菱電機(株)

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