低エネルギーイオンによるシリコン初期酸化過程の研究

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概要

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物質・材料研究機構 | 論文

• リサイクル性に優れた無添加合金製造技術の開発に関する研究
• 新規三元系形状記憶合金薄膜の開発
• 結晶転位の第一原理電子論
• 低エネルギーイオンによるシリコン初期酸化過程の研究
• 高温における金属酸窒化物の微構造変化と力学特性に関する研究

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