マイクロマシーン作成用の細管放電プラズマシールの特性

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概要

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• 東京電機大学工学部の論文

著者

• CHANG Jen-Shih

  McMaster University

• Chang J‐s

  Department Of Engineering Physics Mcmaster University

• Chang J‐s

  Mcmaster University

• Nagai M.

  Anelva Corp.

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