分子動力学によるイオン注入の緩和過程の解析

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• イオン注入表層処理研究会の論文
• 2000-11-24

著者

• 千葉 大輔

  岡山理科大学

関連論文

• 17pTG-12 低温での照射アニーリングと不純物凝集の関わり
• 分子動力学によるイオン注入の緩和過程の解析

スポンサーリンク