ハイブリッド型パルス・プラズマ・コーティング(HPPC)システムによるDLC膜の創製

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• イオン注入表層処理研究会の論文
• 2000-11-24

著者

• 長谷川 祐史

  (株)オンワード技研

関連論文

• 環境に優しい炭素薄膜の開発
• 厚膜ta-C形成用X字状フィルタードアーク蒸着装置の開発
• Y字状フィルタードアーク蒸着装置の開発と銅配線膜の成膜
• 多層膜合成用のT/クランク-ハイブリッドFADの開発
• 硬質DLC被覆工具の開発
• フィルタードアークプラズマを用いた基板エッチング
• ハイブリッド型パルス・プラズマ・コーティング(HPPC)システムによるDLC膜の創製
• DLC被覆による転動疲労寿命の延長
• 中真空動作磁気引き出し型ガスプラズマ銃の開発と基礎特性
• 真空アークプラズマを用いたDLC:Si:H膜の合成
• フィルタードアークプラズマビームを用いた水素フリーDLC膜の生成

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク