マイクロ波放電型小型プラズマ源の開発

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概要

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• プラズマ応用科学会の論文

著者

• 増井 博一

  九州大学大学院総合理工学府先端エネルギー専攻

• 宮本 尚使

  九州大学大学院総合理工学府先端エネルギー専攻

• 鷹尾 良行

  大分工高専

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