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解説 円筒型マイクロ超音波モータ
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日本工業出版の論文
著者
森田 剛
東大 大学院新領域創成科学研究科
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研究室紹介 東京大学 環境情報マイクロシステム分野 強誘電体デバイスグループ : 強誘電・圧電デバイスの応用開発
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