Novel Deep UV Photoresist Based on Thermal Cross-linking and De-cross-linking of Cross-linkable Photoacid Generator

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• Technical Association of Photopolymers, Japanの論文

著者

• Moon S‐y

  Japan Atomic Energy Res. Inst. Gunma Jpn

関連論文

• Novel Deep UV Photoresist Based on Thermal Cross-linking and De-cross-linking of Cross-linkable Photoacid Generator

スポンサーリンク