Three-Component Negative-Type Photoresist Based on C-Tetraoctyl-calix[4]resocinarene,a Cross-linker,and a Photo-acid Generator

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概要

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• Technical Association of Photopolymers, Japanの論文

著者

• Nakayama T

  Joint Res. Center For Atom Technol.(jrcat) Ibaraki Jpn

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