サリサイドプロセスにおけるシリサイド化反応の基板導電型依存性

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 表面分析研究会の論文

表面分析研究会 | 論文

• バイオ関連評価におけるTOF-SIMSの可能性
• 最適化された低エネルギー一次イオン照射下におけるTOF-SIMSサンプリング深さの極浅化
• X線定在波法によるSrTiO3結晶のサイト選択的XPS測定
• 集束イオンビームを用いて作製した薄片試料による深い界面のオージェ電子分光法スパッタ深さ方向分析
• ポーラスな試料のAES分析用断面作製技術

もっと見る

スポンサーリンク