溶体化急冷Cz-Si単結晶における酸素析出核形成 (〔新日本製鉄〕総合技術センタ-<特集>)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

著者

• 碇 敦

  新日鉄エレクトロニクス研

関連論文

• 27a-ZN-3 陽電子消滅によるSiの酸素と電子線照射により導入された欠陥の相互作用の研究
• 溶体化急冷Cz-Si単結晶における酸素析出核形成 (〔新日本製鉄〕総合技術センタ-)

スポンサーリンク