マイクロ光電変換デバイス--マイクロマシンへの光エネルギ-供給 (特集:マイクロパワ-エネルギ--1-)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 光によるマイクロマシンへのエネルギー供給技術(第3報)-微小サイズ光電変換素子の高出力化に関する検討-
- 接触面微細凹凸部に対するフォノン伝導シミュレーションの研究
- マイクロマシン用微細配線の直描式レーザCVD法による形成
- 「マイクロ光電変換デバイス技術」の目ざすもの (特集 マイクロマシンが大きく見える)
- 直描式レーザCVDによるタングステン薄膜の選択的形成に関する検討 -微小光電変換デバイス用微細配線用-
- マイクロ光電変換デバイス--マイクロマシンへの光エネルギ-供給 (特集:マイクロパワ-エネルギ--1-)