PZT薄膜を用いた縦振動プローブセンサ--振動子の特性と接触検出分解能の評価 (特集1 最近のセンサデバイス)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 水熱法PZT薄膜を用いた加振形プローブセンサ
- SA-5-6 PZT薄膜を用いた縦振動プローブ接触センサの分解能
- 強力超音波の応用 微小孔板とねじり振動子による液滴生成
- 強力超音波の応用 超音波振動とマイクロ流路を用いたエマルション生成デバイス
- 超音波加工 円筒型超音波モータの特殊環境応用--強磁場環境下での回転駆動への応用
- 圧電・超音波材料 超音波攪拌機構を用いた水熱合成法によるPZT薄膜の成膜
- 科研費特定領域研究における研究紹介--ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究 (特集 最近の超音波モータ・アクチュエータ)
- 研究室紹介 岡山大学・大学院自然科学研究科--システム構成学(鈴森・神田)研究室
- 超音波モータ 円筒型圧電振動子を用いたマイクロ超音波モータ--バルク材の加工による円筒型圧電振動子の応用
- PZT薄膜を用いた縦振動プローブセンサ--振動子の特性と接触検出分解能の評価 (特集1 最近のセンサデバイス)