座談会(2)LSI微細銅配線技術の将来 (〔表面技術協会〕50周年記念増刊号 夢を語る) -- (エレクトロニクス)

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概要

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表面技術協会 | 論文

• WC系サーメット溶射皮膜の分極特性に及ぼすクロムの効果
• 表面状態の解析-32-表面増強赤外吸収分光法による固体表面分析
• 表面増強赤外吸収分光法による皮膚表面の計測 (バイオ表面をみる)
• STM, AFMを用いた電極表面反応の追跡
• ポリピロール/金の2層構造を有する3次元マイクロアクチュエーターの作製

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