化学増幅型レジストの現状と将来 (フォトレジストと微細加工技術<特集>)

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概要

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表面技術協会 | 論文

• WC系サーメット溶射皮膜の分極特性に及ぼすクロムの効果
• 表面状態の解析-32-表面増強赤外吸収分光法による固体表面分析
• 表面増強赤外吸収分光法による皮膚表面の計測 (バイオ表面をみる)
• STM, AFMを用いた電極表面反応の追跡
• ポリピロール/金の2層構造を有する3次元マイクロアクチュエーターの作製

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