イオンビ-ムスパッタ法で作製したアモルファスNi-Ta-Pt薄膜の低濃度塩水電解での電極特性とその膜質に及ぼすイオン照射効果 (イオンビ-ムによる表面改質とパッシベ-ション<特集>)

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概要

表面技術協会 | 論文

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