エキシマレ-ザゲッタリングにおける欠陥の形成機構とゲッタリング効果 (シリコンLSIの高性能化技術特集) -- (プロセス・結晶技術--結晶)

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概要

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• 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティの論文

電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ | 論文

• 一般形状6面体辺要素を用いた有限要素電磁界解析
• 単一モ-ドファイバ用光合分波器の簡易組立法
• ストレッチディスクシステムを用いた垂直磁気記録媒体の記録特性
• U溝自己整合形パワーMOSFET (US-DMOS)の提案と評価
• 導電性高分子材料測定用抵抗計

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