Si-MBE技術を用いたデバイス試作と選択成長 (シリコンLSIの高性能化技術特集) -- (プロセス・結晶技術--結晶)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティの論文

著者

• 辰巳 徹

  マイクロ研

関連論文

• 5P-E-4 Molecular Beam Deposition SiO_2/Si(111)の再配列構造
• 26a-P-9 a-Si/Si(111)-7x7,a-Si/Ge_Si_(111)-5x5 の界面超構造
• Si-MBE技術を用いたデバイス試作と選択成長 (シリコンLSIの高性能化技術特集) -- (プロセス・結晶技術--結晶)
• Si MBEにおけるド-ピング技術とデバイスへの応用

スポンサーリンク