プラズマ堆積μc-SiヘテロエミッタによるSi-HBTの基礎検討 (シリコンLSIの高性能化技術特集) -- (デバイス技術--バイポ-ラ)

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概要

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• 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティの論文

著者

• 古川 静二郎

  東京工大

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