フォトファブリケ-ションのレジスト材料とプロセス

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本印刷学会の論文

著者

• 橋本 貴夫

  大日本印刷(株)ミクロ製品研究所

• 橋本 貴夫

  大日本印刷 ミクロ製品研

関連論文

• 印刷におけるハイブリッド化技術 (ハイブリッド材料の展開)
• マイクロリソグラフィー用のフォトマスク : 半導体デバイスの製造技術
• フォトファブリケ-ションのレジスト材料とプロセス

スポンサーリンク