線幅可変レ-ザビ-ム描画装置 (最近のレ-ザ-ビ-ム描画装置とその応用<特集>)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本オプトメカトロニクス協会の論文

著者

• 山本 英樹

  米子工業高等専門学校電子制御工学科

• 雑賀 憲昭

  米子工業高等専門学校電子制御工学科

• 雑賀 憲昭

  米子工高専

関連論文

• ZnO/LiNbO_3の表面弾性波フィルター温度特性
• zカットLiNbO_3基板上へのZnOスパッタ薄膜の形成
• LiNbO_3基板上へのZnOスパッタ薄膜の形成
• 線幅可変レ-ザビ-ム描画装置 (最近のレ-ザ-ビ-ム描画装置とその応用)
• 反射光の微分による自動焦点検出機能を備えたレ-ザ-光描画装置の開発

スポンサーリンク